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单晶片和外延片的保存；可将抛光后的单晶片或外延片装入一样大小的小塑料袋内，每袋装一片，或背靠背可装二片，然后，将小塑料袋叠好，装入尺寸定做的硬纸盒内，盒内上部多余空间再放点小包硅胶防潮，盖上盒盖后，在盒盖表面再写上批次、型号、入库时间、数量等。

当要使用单晶片和外延片时，只要从仓库按需取出，然后将硅片从塑料袋内小心取出，放入化学瓷坩埚内进行化学清洗，清洗完了最后用去离子水冲净烘干即可使用。

如果是化开的小芯片保存，则只要用小烧杯或玻璃培养皿进行超声清洗后再烘干，烘干后如短期存放就直接放在干净的玻璃培养皿内盖上，然后再放入有磨口的玻璃干燥器内。

烘干后如长期存放，就在干净玻璃培养皿内放一层定性滤纸，然后在定性滤纸上再放一层小芯片，面上再盖一层干净定性滤纸，接着又放一层小芯片，反正，这样交替叠放，装满为止，最后用配套的玻璃培养皿盖上再放入有磨口的玻璃干燥器内或真空干燥箱内保存。

当要使用小芯片时，只需取出用丙酮——乙醇超声机上清洗，最后用去离子水冲净烘干即可使用。