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真空脱气超声波清洗机的具体工艺为：清洗时首先在常压下把被清洗的物体投入到清洗液中，待清洗液渗透到工件的细孔或深孔中，然后进行真空脱气处理，在减压抽真空过程中，促使清洗液中溶解的微小气泡随着气压的降低，在细孔中膨胀，进而把污垢一同带出，然后在真空状态下，启动超声波发生装置，利用超声波在脱气后的清洗液中良好的清洗能力剥除污垢。

然后开动循环泵使清洗液在真空状态下，发生循环流动并通过过滤器把污垢吸附清除。为提高清洗效果还可以反复进行减压脱气和恢复到常压状态的循环操作，以提高超声波的传送效率和增强对污垢的剥离效果。