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蒸馏水是将水蒸馏、冷凝的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。

去离子水是将水通过阳离子交换树脂，则水中的阳离子被树脂所吸收，树脂上的阳离子H+被置换到水中，并和水中的阳离子组成相应的无机酸；

含此种无机酸的水再通过阴离子交换树脂OH-被置换到水中，并和水中的H+结合成水，此即去离子水。