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芯碁微装9月1日公告，公司拟向不超过35名特定对象非公开发行A股股票数量不超过3624万股（含本数），即不超过本次发行前公司总股本的30%，拟定增募资不超过25亿元，扣除发行费用后将用于直写光刻设备产业应用深化拓展项目，IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目，关键子系统、核心零部件自主研发项目，补充流动资金项目。