氧气厂一般用的是低温分离空气法来制取氧气主要分为空气增压系统、空气净化系统、换热系统、精馏系统以及后备系统几大块其原理是利用带压介质（一般是空气，也有用氮气的）膨胀制冷，产生冷量，经节流换热，将空气液化为液体，在精馏系统中形成上升蒸汽和回流液体，建立精馏工况，然后利用液空中氧气沸点（-183℃）和氮气沸点（-196℃）不同，上升蒸汽与回流液体传质传热，上升蒸汽中的氧被冷却到回流液中，回流液中的氮被蒸发到上升蒸汽中，经过多次精馏后，回流液体中的含氧达到99.6%甚至更高、上升蒸汽中氮含量达到99.999%，就会得到高纯氮气以及液态氧气液态氧气经过板式换热汽化就变成了所需氧气