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电子探针X射线显微分析仪，简称电子探针。

是指以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线，并根据X射线的波长和强度，对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理仪器。

电子探针分析的原理是以电子束轰击试样表面，击出表面组成元素的原子内层电子，使原子电离，此时外层电子迅速填补空位而释放能量，从而产生特征X射线。

不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。

通过鉴别其特征波长或特征能量就可以确定所分析的元素。

电子探针有三种基本工作方式：一是点分析，用于选定点的全谱定性分析或定量分析；二是线分析，用于显示元素沿选定直线方向上的浓度变化；三是面分析，用于观察元素在选定微区内浓度分布。

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